쑤쑤_CS 기록장

MES (manufacturing excution system) : 생산 관리 시스템 EES (equipment engineering system) 설비 데이터를 수집, 활용 가능한 모든 데이터를 이용하여 설비 효율을 높이고 제품의 품질을 향상시키기 위한 시스템 공장 제어, 설비 생산성, 섭리 이상 감시 제어가 주요 기능이다. FDC (fault detection and calssification) 실시간 장비 자원 관리 및 상태 검사 설비의 오작동을 실시간 감시하기 위해 설비의 센서값을 실시간으로 수집 및 계산한다. 이상 발생 판단 및 불량을 분석한다. ADC (advanced process control) 대응 파라미터에 따른 프로세스 최적화 진행될 LOT(웨이퍼의 한 묶음)에 대한 최적의 공정 조건..