생산 관리 시스템 MES 용어 정리

• MES (manufacturing excution system)
• : 생산 관리 시스템

 

• EES (equipment engineering system)
• 설비 데이터를 수집, 활용 가능한 모든 데이터를 이용하여 설비 효율을 높이고 제품의 품질을 향상시키기 위한 시스템
  • 공장 제어, 설비 생산성, 섭리 이상 감시 제어가 주요 기능이다.
• FDC (fault detection and calssification)
• 실시간 장비 자원 관리 및 상태 검사
• 설비의 오작동을 실시간 감시하기 위해 설비의 센서값을 실시간으로 수집 및 계산한다.
• 이상 발생 판단 및 불량을 분석한다.

 

• ADC (advanced process control)
• 대응 파라미터에 따른 프로세스 최적화
• 진행될 LOT(웨이퍼의 한 묶음)에 대한 최적의 공정 조건 값을 자동 계산해 공정 조건을 실시간 제어한다.

 

• RMS (recipe management system)
• 설비 레시피, 파라미터 변경 등 통합 제어 관리

 

• PMS (preventive maintence management system)
• 설비 예방 및 사후 관리 시스템

 

• YMS ( yield management system)
• 수율 관리 시스템
  • 수율 분석, 공정 품질 분석, 비정형 이미지 분석, 영상 분석, 비정형 설비 로그 분석 등이 있다.
• MCS (meterial control system)
• 물류 제어
  • 캐리어 및 물류 설비 상태 관리, 물류 최적 경로 및 우선 순위 관리, 반송 설비에 물류 지시 등의 기능이 있다.
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MES의 주요 기능

[제어 계층]

1. 물류 제어 (Material Control System)

- Carrier 및 물류설비 상태 관리 / 물류 최적 경로 및 우선 순위 관리 / 반송 설비에 물류 지시

- Carrier의 이도잇간을 최적화해 생산 효율을 극대화하기 위한 시스템으로 FOUP, Cassette, Mask 등의 Carrier 관리,

Stocker, AGV, OHT 등의 물류설비 관리 및 반송 명령 관리를 통해 완전자동화를 구현한다. 물류제어 표준 프로토콜인 IB-SEM/Stocker-SEM을 준수하며 최적 반송에 필요한 경로를 제어한다. 또한 반송 중 발생하는 예외 상황 제어 및 실시간 모니터링 기능도 가능하다. 최적경로 탐색 알고리즘 및 동적 경로탐색 기능이 있으며 다운타임 최소화를 위한 Hot Deploy 및 자동 장애극복(Fail Over) 기능도 있다. AMAT 사의 classMCS와 삼성 SDS사의 nanoTrans가 대표적인 솔루션이다.

 

2. 설비제어 (Tool Control)

- 생산 진행 정보 및 검계측 정보 수집, 설비 상태 및 이상 정보 수집, 설비 자동 운전

 

[실행 계층]

1. 작업 지시 (Manufacturing Scheduling System)

- 공정 단위 생산계획 수립, 실시작 작업 우선 순위

 

2. 생산 실행 (Manufacturing Operation System)

- 재공, 재고 및 공정 이력, 설비 등 리소스 관리, 제조공정 진행 및 제어

 

3. 설비 엔지니어링 (Equipment Engineering System)

- 설비 미세 상태 정보 관리, 설비 주요 파라메터 관리, 설비공정 품질 정보 관리

• 공정 제어 - APC, VM
• 설비 생산성 - EPT
• 설비 이상 감지 제어 - FDC, RMS, ECM, SPC

[분석 계층]

1. 품질 분석 (Yield Management System)

- 수율 분석, 공정 품질분석, 비정형 이미지 분석, 영상 분석, 비정형 설비로그 분석

 

2. 생산 분석 (Manufacturing Report)

- 생산 주요 실적 및 지표, 설비 종합 효율, 불량 주요 지표

 

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[MES 용어집]

• BOM (Boil of Materials)
• : 제조공정에는 상취품목, 부품, 자재 명세서, 사용량, 최종 품목, 중간 조립품, 구매 부품, 제품 생산 공정 등으로 구성되어 있다. 자재명세서(BOM)는 모든 품목에 대해 상위 품목과 부품의 사용량, 단위 등을 표시한 리스트이다.

 

• CP 공정능력지수
• : 공정 변동에 대한 규격변동의 양적인 표현을 나타낸 지표이다.

 

• Cpk 치우침이 보정된 공정능력지수
• : 공정 평균의 위치를 반영해 공정 능력이 산포의 중심에서 벗어난 정도를 나타낸 지표이다.

 

• GEM (Generic Equipment Model)
• : 모든 반도체장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만, 그 동작 방식이나 사용하는 메시지가 모두 다르다면 정말로 복잡한 일이다. 이런 이유로 SEMI에서는 동작에 대한 시나리오와 용어로 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데, 이 표준이 E30 생산설비 통신과 제어를 위한 핵심 모델이고 이를 GEM이라 한다.

 

 

 

 

출처

- codenbike.tistory.com/153?category=843797 

- zorbanoverman.tistory.com/827 

- 스마트 팩토리 > 제 4차 산업혁명의 출발점 > 정동곤 지음/ 한울 아카데미

zorbanoverman.tistory.com/799?category=607973