250x250
Recent Posts
Recent Comments
쑤쑤_CS 기록장
공부하며 정리하기 본문
728x90
- 오라클 TNS (Transpoarent Network Substrate)
- TNS는 오라클에서 사용하는 네크워크 기술.
- 클라이언트/서버 또는 서버/서버 간에도 Data의 전송을 가능하게 해주는 기술이다.
- TNS 기술을 이용하는 SQL*NET 이 사용하는 Listener를 TNS Lintener라고 부르며 오라클 서버쪽에 떠있다.
- Client 측 설정 파일
- : 접속하고자 하는 오라클 서버에 관한 설정. IP주소 또는 컴퓨터 이름. DB이름 등의 파일
- Server 측 설정 파일
- : 한 서버쪽에서 만약 다른 서버쪽의 디비에 연결하려면 TNSNAMES.ORA 파일이 있어야 한다. LISTENER.ORA 파일은 리스너의 이름과 주소를 담고있으며 데이터베이스의 SID와 리스너를 조절하는 Control Parameter에 관한 정보를 담고 있다.
- EES
- equipment engineering system
- 설비 데이터를 수집, 활용 가능한 모든 데이터를 이용하여 설비 효율을 높이고 제품의 품질을 향상시키기 위한 시스템
- 공장 제어, 설비 생산성, 설비 이상 감시 제어가 주요 기능이다.
반도체 공정
- 포토 공정
- 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 과정
- 웨이퍼 위에 회로 패턴이 담긴 마스크 상을 빛을 이용해 비춰서 회로를 그린다.
- 포토 마스크
- 사진 원판의 역할
- 도면 검사까지 마친 회로 패턴은 E-Beam이라 일컫는 설비를 통해
- 순도가 높은 석영을 가공해서 만든 유리판 위에 그려져
- MASK(Reticle)로 다시 탄생하게 된다.
- 포토 마스크 라고도 하는 이것은 회로 패턴이 담긴 네거티브 필름 이다.
- 사진 원판의 역할
- Stocker
- 반도체 제조공정에 사용되는 각종 Carrier를 운송, 저장 및 Sorting 기능을 하는 자동 입출고 창고 시스템
- 물류 자동화 장비
- Scanner
- 노광에서는 렌즈의 역할이 중요하다. 특히 해상도와 초점-심도 라는 초점을 맞추는 물리적 기능이 핵심이다
- 스캐너는 slit을 통과하는 빛을 레이저광으로 쏘는 듯한 형태 타입니다.
- 문서 스캐너처럼 빛을 일정하게 움직여 패턴을 형성하는 방식
- 회로의 정밀도를 위해 파장이 짧은 UV자외선을 광원으로 사용한다.
- Reticle
- 웨이퍼를 노광장비로 이동시켜서 미세회로패턴을 새긴 마스크
- 여러 번 반복적으로 위치를 바꿀 수 있도록 만든 마스크
- 통상, 설계 도면의 5배 정도 크기고 패턴이 그려진 유리판
- 요즘은 마스크 / 레티클 을 용어 구분없이 혼용한다.
- Mask
- 패턴이 그려진 필름형 유리판
- 블랭크 마스크 -> [패턴 노광] -> 포토 마스크(: 패턴이 그려진 회로 원판 마스크)
- Stepper Exposure 노광
- 감광액(PR)막이 형성된 웨이퍼를 사진 인화지와 비슷한 상태로 만든 후
- 노광장비를 사용하여 회로 패턴이 담긴 마스크에 빛을 통과시켜
- 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 과정
- 반도체 공정에서 노광을 빛을 선택적으로 조사하는 과정을 말한다.
출처
ojc.asia/bbs/board.php?bo_table=itwords&wr_id=3
www.samsungsemiconstory.com/136
다음에 읽어볼 사이트
patents.google.com/patent/KR20140047099A/ko
728x90
'IT 지식 기록 > 반도체 SW' 카테고리의 다른 글
.NET Framework (0) | 2021.04.05 |
---|---|
Windows 프로그래밍 (0) | 2021.04.05 |
04/01 일지 (0) | 2021.04.01 |
반도체 기초, 메모리 시스템 반도체, 반도체 공정 정리 (0) | 2021.03.25 |
생산 관리 시스템 MES 용어 정리 (1) | 2021.03.23 |
Comments