공부하며 정리하기

 

• 오라클 TNS (Transpoarent Network Substrate)
  • TNS는 오라클에서 사용하는 네크워크 기술.
  • 클라이언트/서버 또는 서버/서버 간에도 Data의 전송을 가능하게 해주는 기술이다.
    • TNS 기술을 이용하는 SQL*NET 이 사용하는 Listener를 TNS Lintener라고 부르며 오라클 서버쪽에 떠있다.
    • Client 측 설정 파일
      • : 접속하고자 하는 오라클 서버에 관한 설정. IP주소 또는 컴퓨터 이름. DB이름 등의 파일
    • Server 측 설정 파일
      • : 한 서버쪽에서 만약 다른 서버쪽의 디비에 연결하려면 TNSNAMES.ORA 파일이 있어야 한다. LISTENER.ORA 파일은 리스너의 이름과 주소를 담고있으며 데이터베이스의 SID와 리스너를 조절하는 Control Parameter에 관한 정보를 담고 있다.
• EES
  • equipment engineering system
  • 설비 데이터를 수집, 활용 가능한 모든 데이터를 이용하여 설비 효율을 높이고 제품의 품질을 향상시키기 위한 시스템
  • 공장 제어, 설비 생산성, 설비 이상 감시 제어가 주요 기능이다.

 

 

반도체 공정

• 포토 공정
  • 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 과정
  • 웨이퍼 위에 회로 패턴이 담긴 마스크 상을 빛을 이용해 비춰서 회로를 그린다.
• 포토 마스크
  • 사진 원판의 역할
    • 도면 검사까지 마친 회로 패턴은 E-Beam이라 일컫는 설비를 통해
    • 순도가 높은 석영을 가공해서 만든 유리판 위에 그려져
    • MASK(Reticle)로 다시 탄생하게 된다.
    • 포토 마스크 라고도 하는 이것은 회로 패턴이 담긴 네거티브 필름 이다.
• Stocker
  • 반도체 제조공정에 사용되는 각종 Carrier를 운송, 저장 및 Sorting 기능을 하는 자동 입출고 창고 시스템
  • 물류 자동화 장비
• Scanner
  • 노광에서는 렌즈의 역할이 중요하다. 특히 해상도와 초점-심도 라는 초점을 맞추는 물리적 기능이 핵심이다
  • 스캐너는 slit을 통과하는 빛을 레이저광으로 쏘는 듯한 형태 타입니다.
  • 문서 스캐너처럼 빛을 일정하게 움직여 패턴을 형성하는 방식
  • 회로의 정밀도를 위해 파장이 짧은 UV자외선을 광원으로 사용한다.
• Reticle
• 웨이퍼를 노광장비로 이동시켜서 미세회로패턴을 새긴 마스크
• 여러 번 반복적으로 위치를 바꿀 수 있도록 만든 마스크
  • 통상, 설계 도면의 5배 정도 크기고 패턴이 그려진 유리판
  • 요즘은 마스크 / 레티클 을 용어 구분없이 혼용한다. 
• Mask
  
  • 패턴이 그려진 필름형 유리판
  • 블랭크 마스크 -> [패턴 노광] -> 포토 마스크(: 패턴이 그려진 회로 원판 마스크)
• Stepper Exposure 노광
  
  • 감광액(PR)막이 형성된 웨이퍼를 사진 인화지와 비슷한 상태로 만든 후
  • 노광장비를 사용하여 회로 패턴이 담긴 마스크에 빛을 통과시켜
  • 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 과정
  • 반도체 공정에서 노광을 빛을 선택적으로 조사하는 과정을 말한다.

 

 

 

출처

ojc.asia/bbs/board.php?bo_table=itwords&wr_id=3

www.samsungsemiconstory.com/136

 

 

 

 

 

 

m.blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=shakey7&logNo=221362788854&proxyReferer=https:%2F%2Fwww.google.com%2F

EUV 개발 과제 (마스크 / 펠리클 / 투과율 / 렌즈 / 반사 / 열 방출 / 노광 / 나노 / 웨이퍼 / 에프에스

 

 

 

다음에 읽어볼 사이트

news.skhynix.co.kr/1873

[반도체 특강] 포토(Photo) 공정 下편 - 노광(Exposure)과 현상(Develope)

patents.google.com/patent/KR20140047099A/ko

KR20140047099A - 반도체 스토커 시스템들 및 방법들 - Google Patents